中古 PERKIN ELMER 2400-8SA #153592 を販売中

PERKIN ELMER 2400-8SAは、優れた薄膜成膜性能を提供するスパッタリング装置です。半導体デバイスで使用される薄膜、光学マルチレイヤー、機械部品用のハードコーティングなどの用途があります。このシステムは、最大限の柔軟性と信頼性を目指して設計されており、スパッタ蒸着用の幅広いカスタマイズされた基板マウント構成とマグネトロン源を提供します。このユニットは真空チャンバーで構成されており、最大8つの基板を同時に蒸着することができます。各基板は、任意の角度と回転のために簡単に調整することができ、個々のマウントに座っています。チャンバーには開口板が装備されており、可変成膜角度が可能です。チャンバーは、オイルフィードターボ分子ポンプを介して避難し、8 x 10-5 mBarの基圧で保持されます。スパッタリングプロセスは、電源とマグネトロン源によって駆動され、DC、 パルスDC、またはRF操作で動作するように設定できます。ソース構成に応じて、金属、酸化金属、絶縁体、さらには透明フィルムなどの幅広い薄膜を製造することができます。さらに、マグネトロン源には任意の回転ターゲットを装備することができ、より均一なスパッタ蒸着を可能にします。一貫して反復可能な結果を保証するために、さまざまなプロセス制御および監視技術が採用されています。チャンバー内で圧力と温度を測定し、マグネトロンの電力と電圧をリアルタイムで監視し、薄膜蒸着プロセスを正確に制御します。2400-8SAツールは、使いやすさと低メンテナンスのために設計されています。直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備え、ユーザーは最小限の労力でメニューとセットアップ作業をすばやくナビゲートできます。さらに、真空チャンバーは容易なアクセスと便利なメンテナンスとクリーニングのために設計されています。全体として、PERKIN ELMER 2400-8SAスパッタリングアセットは、薄膜蒸着用の信頼性の高い高性能ソリューションです。その柔軟性、使いやすさ、優れた薄膜成膜性能により、幅広い産業および科学的用途に最適です。