中古 PERKIN ELMER 2400-6J #35438 を販売中

PERKIN ELMER 2400-6Jスパッタ装置は、薄膜成膜に使用される汎用性の高い高精度ツールです。そのパワーと精度により、光学薄膜コーティング、MEMS、走査型電子顕微鏡（SEM）チップ加工、ウェハスケール相互接続などの薄膜アプリケーションに最適です。このスパッタリングシステムは、アルミニウム、クロム、タンタルおよびタングステン、ならびにこれらの金属の酸化物および窒化物を含む金属の堆積のために設計されています。2400-6Jのモジュール設計により、薄膜蒸着プロセスを最適化し、特定の要件を満たすことができます。大容量チャンバーを内蔵しており、最大8、24、または48のウェーハを同時に処理できます。この大容量ユニットにより、1つの基板に1つのプロセスで複数の層をスパッタすることもできます。この機械に含まれている高出力、複数のマグネトロンおよび平面スパッタ源は、薄膜の均一で高速な蒸着速度を提供します。このツールは、解釈しやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、ユーザーフレンドリーで、包括的なプロセス制御パッケージを提供する複数のウィンドウがあります。プリセットレシピのセットは、簡単なセットアップと結果の再現性を可能にします。また、スパッタリングパラメータをリアルタイムで監視および制御することができ、迅速なプロセス最適化が可能です。このモデルは、スパッタリングプロセスの効率的な動作を促進する多くの機能を備えています。これらには、蒸着に使用される反応性および非反応性ガスの効率的な管理を可能にするガス管理装置が含まれます。より制御された高められた真空を可能にする真空管理システム；そして容易で、速いウェーハのローディングおよび荷を下すことを提供する自動化されたウェーハの処理の単位。最高の再現性と再現性を確保するために、PERKIN ELMER 2400-6Jには多くの安全機能があります。これらには、過熱安全スイッチ、自動インターロック操作、チャンバーの温度と圧力の監視が含まれます。この機械にまた結晶のオリエンテーションの均等性、表面質および滑らかさの測定のような多数の後処理制御が、あります。2400-6Jは、高品質の薄膜成膜プロセスを実現できる高精度スパッタリングツールを必要とする方に最適なソリューションです。その汎用性の高い設計と直感的な制御資産は、安全性とポストプロセス制御機能の範囲とともに、光学薄膜コーティングからMEMS加工などのアプリケーションに最適です。