中古 PELCO SC 7 #9273009 を販売中

PELCO SC 7は、Semicore Equipment、 Inc。がPELCOシリーズのスパッタリングツールの一部として開発した先進スパッタリング装置です。このシステムは、半導体、オプトエレクトロニクス、およびMEMS（マイクロエレクトロメカンシャル・システム）製造プロセスでの生産スパッタリングに使用するために設計されています。SC 7ユニットは最先端の設計を採用しており、様々な表面にスパッタリングを施すのに最適です。この機械は金属、酸化物、窒化物、金属および他の材料をスパッタできます。PELCO SC 7は、シリコンウェーハ、ガラス、PETなどの硬質および柔軟な基板に薄膜を堆積させるために使用できます。304シリーズステンレススチールプロセスチャンバーを装備しており、2インチウェーハ4本、または5インチウェーハ2本の成膜に対応しています。大型プロセスチャンバーは、様々なサイズと構成のスパッタ基板のためのより高い柔軟性を提供します。SC 7は高い蒸着速度を持ち、最大10nm/minの効率的な金属蒸着が可能です。このツールはまた、スパッタリングプロセスのパラメータを自動的に調整してコンタミネーションレベルを一貫して低く保つ自動調整アセットによって監視される非常に高いコンタミネーションレベルを備えています。内蔵のAdvanced Source Confinement Model （ASC）は、基板のクリーンで汚染のない表面を維持するのに役立ちます。PELCO SC 7はカスタマイズ可能で、ガスの流れ、目標角度、ガスのタイミング、電流、圧力などのチューニング機能を備えています。また、高効率電源モジュールを搭載しており、最大2000ワットの電力を供給できます。この電源は完全に調整可能で、スパッタリングプロセスの特定の要件を満たすように正確に調整できます。また、ターボ分子ポンプ、マスフローコントローラ、フォアポンプを含む集中型真空システムがあり、望ましい真空環境を維持し、均一なフィルム蒸着を確保するように設計されています。SC 7は、さまざまな用途や業界で使用できる汎用性の高いスパッタリングユニットです。それは一貫した、正確な結果を提供するように設計されています、それは研究開発、産業製造業およびハイテクな電子工学のための理想的な選択をします。高度な機能と信頼性の高い操作により、PELCO SC 7は、正確で効率的な堆積を必要とするスパッタリングプロジェクトに最適です。