中古 PELCO 3 #159054 を販売中

PELCO 3は、アルゴンが使用されるスパッタリングガス源であるプラズマエッチング用に特別に設計されたプラズマスパッタリング装置です。プラズマエッチングは、イオン爆撃の原理を利用して基板表面を変更するプロセスです。このスパッタリングシステムには、真空チャンバー、ガスボックス、プラズマチャンバー、基板ステージ、およびいくつかのアクセサリーが含まれています。真空チャンバー内では、アルゴンガスを導入し、真空ポンプを接続することで圧力を真空レベルに低減します。ガスはプラズマ室に運ばれ、無線周波数（RF）電力で励起されます。このエネルギーはガス分子を励起またはイオン化し、プラズマを形成する。プラズマはガス分子を分解し、高エネルギーレベルでアルゴン原子の原子または分子の割合を生成します。励起されたアルゴン原子と分子は高速で移動し、標的表面を爆撃して物質沈着を誘導します。処理する基板は、その表面がプラズマにさらされているチャンバー内の基板ステージに配置されます。ターゲット表面がスパッタされ、エッチングされて薄膜層が形成されます。3つのユニットには、さまざまな用途での使用に適したいくつかの機能が装備されています。これらの機能には、圧力制御、ガス流量制御、ガス消費量、ガス排出量、基板温度など、さまざまなプログラマブルパラメータが含まれ、機械全体を非常に細かく制御できます。さらに、PELCO 3には、基板がステージに配置されたときに検出できる自動検出ツールがあり、それに応じてプログラムされた動作を可能にします。また、電源異常などの予期せぬ事態が発生した場合にモデルをシャットダウンするように設計された安全資産が組み込まれており、機器が安全に使用できるようにしています。3つのスパッタリングシステムは容易な使用および信頼できる結果のために設計されています。真空チャンバー、プラズマチャンバー、基板ステージなどの主要部品はすべてあらかじめ組み立てられており、セットアップ時間を短縮し、メンテナンスを容易にします。ユニット全体もワイヤレス接続されており、ユーザーは遠隔地から機械を制御および監視することができ、操作効率が向上します。全体的に、PELCO 3プラズマスパッタリングツールは信頼性が高く、使いやすいです。その特徴とアクセサリーは、幅広い用途に適しているため、薄膜コーティングやエッチングに最適です。