中古 OERLIKON / BALZERS LLS EVO #9208365 を販売中

OERLIKON/BALZERS LLS EVOは、薄膜コーティングの製造のための産業および研究所で使用される高度なスパッタ成膜装置です。これは、多くのユニークな機能を通じて高度な性能を提供し、基板への材料の堆積を高度に制御することができます。基本的なスパッタリングシステムは真空チャンバで構成されており、2つの別々のソースがチャンバ内に物理的に配置され、電源に接続されています。ソースは、円柱または平面のいずれかで、さまざまなソース材料を使用できます。ソースへのフィードは、入力材料を正確に制御できるソリッドステートバルブによって提供されます。チャンバーは、超高真空環境または低圧反応環境のいずれかで動作できます。この機能は、基板上の望ましい材料を生成する柔軟性を提供します。BALZERS LLS EVOのRFソースは、非常に均一なコーティングを可能にし、材料内の高欠陥の可能性を低減します。これは、無線周波数信号を使用して陽極と陰極表面の間に共振周波数を作成することによって実現されます。この共鳴は、チャンバー内のイオン化された粒子の数を増加させ、順番に堆積の均一性と速度を高めます。OERLIKON LLS EVOには、特許取得済みのソリッドステートシャッターユニットも組み込まれています。この機械は非常に速く、精密な脈拍制御を可能にします。パルシングは、ピーク電力でより高いイオン集団を可能にするだけでなく、急速に沈着サイクルを開始および停止する能力を可能にします。この結果、粒子のイオン化が増加し、沈着時間が短縮され、コーティング品質が向上します。LLS EVOはまた、迅速かつ簡単なウェーハ交換と処理を提供しています。非常に正確な2軸アライナーを使用して、ウェーハをチャンバー間で移動させます。これにより、最適な沈着のための正確な基板配置が可能になります。高度な制御システムと組み合わせると、OERLIKON/BALZERS LLS EVOは、高品質の薄膜コーティングを製造するための非常に汎用性の高いツールを提供します。このチャンバーは、さまざまな露光条件下でさまざまな材料を製造することができ、欠陥率が低い。この資産は非常に効率的であり、生産ラインのアプリケーションに適しているだけでなく、コーティング技術の研究開発にも適しています。