中古 OERLIKON / BALZERS LLS EVO #9081784 を販売中

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ID: 9081784
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2000
Load lock sputtering system, 6" Process: TaN Polycold set up for both chambers 12 wafers per run Could run 4 targets Computer and Windows 7 included Cryo pump load chamber Turbo main chamber Currently de-installed 1999-2000 vintage.
OERLIKON/BALZERS LLS EVOは、電子部品の製造に使用するために設計されたスパッタ装置です。それは産業および研究の適用の両方にとって理想的に適している中力、高容量の用具です。このシステムは、パッシベーション、メタライゼーション、真空蒸着など、現代のビジネスの薄膜蒸着ニーズに使いやすいソリューションを提供します。BALZERS LLS EVOは、スパッタリングプロセスの高い柔軟性を提供するように設計されています。金属、酸化物、誘電体など幅広い材料を堆積することができ、また最適な効率を確保するために様々なスパッタリング技術を提供しています。このユニットは、スパッタリングプロセス用のマルチゾーン真空チャンバ、正確な材料沈着制御用のコンピューター制御コントローラ、および効率的なターゲット交換のための高度なスパッタターゲットアタッチメントマシンで構成されています。OERLIKON LLS EVOは、高い柔軟性とパフォーマンスに加えて、プロセス制御の自動化、高出力スパッタリング機能、高精度の電界放出走査電子顕微鏡、強力なデータ解析ツールなど、幅広い機能を提供しています。また、定期的なクリーニングや定期的なセンサー校正などの予防保全のための複数のステップで、長寿命を実現するように設計されています。これは、毎回一貫した結果を持つ高品質の製品を確保するのに役立ちます。全体的に、LLS EVOは、高品質の薄膜材料を生産することができる堅牢なスパッタリングツールです。また、コンピュータ制御プロセス制御、高精度の電界放出走査電子顕微鏡、強力なデータ解析ツールなどの高度な機能を備えています。長い寿命と信頼性の高いパフォーマンスを備えたOERLIKON/BALZERS LLS EVOは、さまざまな生産アプリケーションに最適なツールです。
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