中古 NRC / VARIAN 3177 #9122993 を販売中

NRC/VARIAN 3177は薄膜蒸着用スパッタ装置です。これは、基板上に薄膜金属または誘電層を作成するための正確で信頼性の高いツールを提供するように設計されています。NRC 3177は真空チャンバーと電源ユニット（PSU）で構成されています。システムの中心には真空チャンバーがあり、高真空の環境を作成し維持するように設計されています。チャンバーの低真空領域は、二層スパッタリング（BLS）または三層スパッタリング（TLS）に使用されます。これは、チャンバーが高い密着性と滑らかな表面を有するスパッタフィルムを生成するために使用できることを意味します。チャンバーは完全に密閉されており、汚染を最小限に抑え、洗浄を容易にします。電源とコントロールボードで構成されるPSUを使用して、スパッタリング処理を制御します。この電源は、最大1800ボルトのDC電源と最大100アンペアの電流を供給することができ、さまざまなタイプのスパッタリングを可能にします。さらに、コントロールボードは、さまざまな事前プログラムされたパラメータを提供することができ、特定の堆積プロセスのニーズを満たすためにカスタマイズすることができます。VARIAN 3177は、バリア層やコソルベント層、多層構造、拡散障壁など、さまざまな薄膜アプリケーションを製造することができます。また、直径200mmまでの幅広い基板サイズに対応できます。3177は2つのガスラインを内蔵しており、スパッタリング工程中の圧力を調節し、スパッタリング終了時に不活性ガスを導入するために使用できます。このユニットにはデータロギングマシンも装備されており、ユーザーは将来の参照のためにプロセス関連のデータを保存することができます。直感的な操作インターフェースにより、NRC/VARIAN 3177は使いやすいです。精密制御、データロギング、幅広い対応基板などの高度な機能により、幅広い薄膜成膜ニーズに最適です。