中古 NRC / VARIAN 3117 #9160339 を販売中

NRC/VARIAN 3117は、材料蒸着に不活性ガスを利用した大面積スパッタ装置です。2軸電動精密ステージに搭載された2つの高出力マグネトロンスパッタリングヘッドを備えています。各ヘッドは、それぞれイオン電流の5kWと20kWまで発電するDC電源の70mAまたは160mAによって供給されます。このシステムは、最大8つの独立したガスでプロセスの大気を制御するマルチガス機能を備えています。それは容易な操作のための事前プログラムされたプロセスレシピが付いている自動化されたデジタルプロセスコントローラを含んでいます。NRC 3117は60 cm×40 cmの大型メインチャンバーで、サンプルの積載を容易にするための統合されたロードロックダウン機構を備えています。これにより、最大4つのターゲットを2つのスパッタリングヘッドに同時に取り付けることができます。また、12インチ回転可能な基板ホルダーを搭載し、さまざまなサイズや形状の基板に対応できます。VARIAN 3117は、洗練された石英ベースの不活性ガス分配機を使用して、スパッタリングガスをチャンバー全体に正確かつ均一に分布させることができます。このデュアルコントロールマニホールドツールは、独立して操作することも、目的のプロセス雰囲気を達成するためにガスを混合するために使用することもできます。チャンバー内の圧力は、精度のために校正された精密マスフローコントローラを使用して監視および調整されます。3117はまた、モデルの全体的なパフォーマンスの指標である「Pulse Counts」と呼ばれるin-situ資産監視機能を備えています。また、装置は、詳細な診断情報と一緒に10までの異なるプロセスレシピを保存する能力を持っています。NRC/VARIAN 3117スパッタリングシステムは、多種多様なプロセスにおいて、広域薄膜の最大収率を提供するために設計されています。その大きなチャンバー、精密な制御、汎用性の高いガスシステム、および可変スパッタリングヘッド電源により、特定の堆積ニーズに合わせて調整することができます。NRC 3117スパッタリングユニットは、信頼性の高いサービスの長年にわたって優れた性能と長寿命の結果を保証するように設計されています。