中古 NRC / VARIAN 3117 #3842 を販売中

NRC/VARIAN 3117は、さまざまな基板上に薄膜成膜を行うために設計された高性能スパッタリング装置です。このシステムは、毎分500アングストロームを超える蒸着率が可能であり、半導体製造業、光学、MEMS、薄膜業界で使用されています。NRC 3117は、マグネトロン構成を備えた最適化されたパルスDCスパッタソースを備えています。この構成により、基板上の均一なカバレッジで薄膜成膜を正確に制御することができます。このユニットには、ガスタイプまたはレイヤータイプのスパッタリング用に構成できる単一のスパッタソースも含まれています。VARIAN 3117は、蒸着速度を監視し、リアルタイムで調整するなどの高度な蒸着制御機能を備えています。また、スパッタリングターゲットの調整可能な圧力により、フィルムの形態や不純物レベルを正確に制御することができます。3117に速い取付けおよび操作のセットアップを可能にするモジュラー設計があります。このツールには、スパッタリングアセットのパフォーマンスに関する貴重なデータを提供する高度な診断機能も装備されています。また、自動カセットローディング、基板サイズ検出、基板位置決めコントローラなど、さまざまなオートメーション機能が設計に組み込まれています。NRC/VARIAN 3117は、NFPA-79やCSA C22.2 No.14-91などの主要な安全関連規格に完全に準拠しています。また、ジェネレータのpermit-to-operating機能により、生産プロセスを標準化および検証することもできます。NRCは、生産速度が上がっても高精度な結果を提供することができます。全体として、NRC 3117モデルはパワフルで効率的なスパッタリング装置であり、さまざまな基板上で一貫した薄膜成膜を行うための幅広い最適化機能を提供します。その汎用性の高い設計と高度な診断機能と自動化機能により、さまざまな生産ニーズに適しています。