中古 NRC / VARIAN 3117 #293625152 を販売中

NRC/VARIAN 3117装置は、複雑な積層薄膜を製造することができる高度なスパッタリングシステムです。これは、スパッタチャンバー、ターゲットロードロック、可変高真空ポンピングユニットなど、いくつかの異なるコンポーネントで構成されています。スパッタチャンバーは、完全に囲まれた水冷ステンレス製のチャンバーです。それはデジタル制御された可変的な力の2つの独立して輪郭を描く平面、二重マグネトロン源が装備されています。これにより、非常に高い蒸着率で正確に定義されたターゲット形状のスパッタリングが可能になります。ターゲットロードロックは、スパッタチャンバーへのスパッタリング材料の輸送のための堅牢な自動チャンバーです。また、負荷マッチング機能も備えており、背面加圧を最小限に抑えた材料の搬送が可能です。可変高真空ポンピングマシンは、最適なプロセス制御を提供し、固体とガスの広範な多様性をスパッタすることができます。このツールには、サンプルプラテンホルダーアセンブリ、クローズドサイクル冷凍資産、サンプルインスパッタ洗浄、インスパッタ脱ガス機能など、プロセス固有のいくつかの特殊機能も組み込まれています。全体的に、NRC 3117スパッタリングモデルは、最適な精度、再現性、信頼性を備えた高品質で複雑な多層薄膜を製造することができる高度な技術です。