中古 NRC / VARIAN 3117 #126817 を販売中

NRC/VARIAN 3117スパッタリング装置は、薄膜の効率的な成膜のために設計された高性能で信頼性の高いスパッタリングツールです。これは、金属、酸化物、窒化物、およびエアロゲルなどの様々な材料を堆積することができます。このシステムは、蒸発、イオン爆撃、スパッタリングの3つのプロセスを組み合わせて使用します。それはマグネトロン、チタン、または間接の3つのマグネトロン構成のいずれかを選択する2つの完全に独立したチャンバーを持っています。蒸着とスパッタリングの2つのRF源も備えており、高い蒸着率と均一性を高めた蒸着が可能です。さらに、このマシンには4インチロードロック機能と両方のチャンバーにサンプルドラムが搭載されており、サンプルの転送とローディングを迅速かつ簡単に行うことができます。NRC 3117は、10-6 Torrのベース圧力を備えた超高真空ツールを備えており、優れた薄膜品質と均一性を保証します。RFソースを使用して周波数、パワーレベル、パルスモジュレーションを制御し、堆積パラメータを微調整できます。このアセットには、条件を監視および設定するためのPC制御インターフェイスと、さまざまなプロセスパラメータを設定するためのマスフローコントローラ（MFC）を備えた調整可能なガス分布モデルもあります。VARIAN 3117は使いやすいRFスパッタ回転襟の装置を備えており、スパッタ材の角度を正確に制御できます。さらに、システムには高電圧電気安全ユニットが内蔵されており、ソースの電圧を監視し、潜在的に危険な状況を防ぎます。この機械には、安全な取り扱いのためのサンプルペデスタル、サンプルを加熱するための耐熱素子、およびフィルム特性を改善するためのいくつかの磁気および不活性ガス源の選択などのアクセサリーも含まれています。3117はユーザーフレンドリーなツールとして設計されており、直感的なユーザーコントロールソフトウェアとさまざまな機能を備えており、使いやすいです。高精度の蒸着技術、低熱予算、信頼性の高いビルド品質により、さまざまな蒸着アプリケーションに最適です。NRC/VARIAN 3117は、高いレートと高品質の均一なフィルムで薄膜構造を作成するための理想的なツールです。