中古 NRC / VARIAN 3115 #70871 を販売中

NRC/VARIAN 3115は、薄膜成膜用に設計された最先端のスパッタリング装置です。2つの独立した高真空スパッタリングチャンバーと4つのマグネトロンを使用しています。各マグネトロンは、さまざまなターゲット材料でカスタマイズ可能であり、独自にコーティングされた膜厚を制御することができます。チャンバーには不活性ガスバックフィル、ポンプアウトステーション、および4ターゲットの4マグネトロンスパッタリングユニットが装備されています。このシステムは、金属、金属酸化物、金属窒化物材料のコーティング基板など、いくつかの用途に適しています。単結晶系、多結晶系、アモルファス系、ナノ結晶系など、様々な基板や材料のコーティングに使用できます。このユニットは、低熱予算の酸化物と窒化物の蒸着機能を備えており、薄膜アプリケーションに優れたインタフェース品質と優れた層質を提供します。NRC 3115マシンは、様々なトポロジカルおよび光学アプリケーションのための薄膜の高精度、反復可能なスパッタ蒸着を提供するように設計されています。その6軸の外部ターゲットコントロールと4つのマグネトロンターゲットは、組成均質性や光学的透明性など、すべてのサブレイヤー特性と全体のフィルム組成を均一に制御する薄膜を生成することができます。さらに、セラミックス、透明導電性酸化物、金属窒化物などの複数の層を含むグレードフィルムを製造することができます。ユーザーフレンドリーな直感的なタッチスクリーンディスプレイを通じて、このツールは強力で高度なコントロールと最先端のプロセス診断を提供します。この資産はまた、動的プロセス制御、プロセス最適化、診断など、プロセス制御のためのリアルタイムのフィードバックアプローチも提供します。さらに、グラフィカルプロセスモニタリングやデポジット特性評価など、いくつかの種類のグラフィカルプロセス制御機能を提供します。VARIAN 3115は、革新的で信頼性が高く、費用対効果の高いツールであり、研究者やエンジニアは驚異的な品質の高度な薄膜製品を作成することができます。そのため、最先端のスパッタリング技術を求める組織にとっては実行可能な選択肢です。