中古 NRC / VARIAN 3115 #70870 を販売中

NRC/VARIAN 3115は、高精度の薄膜蒸着用途向けに設計された完全自動スパッタリング真空システムです。高性能、堅牢性、ユーザーフレンドリーなデザインで広く知られています。このシステムには、導体と絶縁体の両方の薄膜を堆積することができる高度なロータリースパッタガンが装備されています。さらに、PLC （Programmable Logic Controller）とブロワー圧力制御が利用され、正確なプロセス監視とメンテナンス効率を提供します。NRC 3115のチャンバーは非常にきれいで、優れた再現性と均一性を持つ薄膜層の堆積を可能にします。可変深度ターゲットホルダーとその場でロータリーターゲットアライメントが装備されており、ターゲットを貼り付けるリスクを排除します。真空レベルは安定しており、蒸着中は内蔵のマスフローコントローラを使用して圧力制御を調整します。VARIAN 3115は、薄膜成膜、超薄膜層、積層積層積層などのあらゆる種類のスパッタリングプロセスを処理するように設計されています。温度制御は、スパッタターゲット全体に均一な温度を提供するために使用することができる抵抗発熱体を介して達成されます。これにより、敏感な材料の均一で完璧なカバレッジが保証されます。薄膜層のスパッタリング量と組成は、プロセスパラメータを調整することにより、+/-0。5％以内に正確に制御することができます。厚さ制御は、光学ピロメーターまたは楕円計を使用して簡単に行うことができます。3115の大きなチャンバーサイズとその連続的なプロセス監視は、大規模なコンポーネントの生産を比較的容易にします。NRC/VARIAN 3115は、真空部品の製造において貴重なツールであり、その幅広い機能と性能パラメータにより、さまざまなスパッタリングプロセスを正常に処理することができます。その信頼性とユーザーフレンドリーなデザインは、品質の薄膜蒸着アプリケーションのための優れた選択肢となります。