中古 NOVELLUS / VARIAN XM 90 #9226347 を販売中

NOVELLUS/VARIAN XM 90は、研究開発または生産環境アプリケーション用に設計されたスパッタ装置です。VARIAN XM 90は、薄膜の成膜に高度な制御と柔軟性を提供するデジタルモジュラーチャンバーです。このシステムは500mm×500mmのチャンバーを備えており、5つのスパッタリング源で構成されており、ターゲットのサイズは10〜60cmです。金属、セラミック、有機基板など、さまざまな材料を加工するように設計されています。NOVELLUS XM-90は、プロセス監視と最適化のための多くのオプションを提供するように設計されています。不活性・反応性ガス用自動ガスコントロールユニットを備えており、プラズマの精密な制御が可能です。さらに、圧力、RF電力、温度などのプロセスパラメータを調整してプロセスパラメータをカスタマイズできます。統合された光学機器は、蒸着条件のリアルタイム監視を可能にし、クローズドループのフィードバックツールは、正確なフィルムと反復可能な結果を保証するのに役立ちます。NOVELLUS/VARIAN XM-90の設計は、速乾性の高いベローズ資産を備えており、サンプルの読み込みとアンロードを迅速かつ簡単に行うことができます。また、XM 70、 XP-6010、 XP-61000など、さまざまなVARIANマシンと機械的に互換性があるように設計されており、既存の施設に簡単に統合できます。さらに、このモデルには、オペレータと機器の両方のための包括的な安全インターロックが含まれています。XM-90には、プログラム可能なプロセスパラメータ、リモートアクセス、自動レシピ実行を可能にするコンピュータ制御プロセスサイクルがあります。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、プロセスレシピを簡単に制御および監視できるように設計されています。さらに、VARIAN XM-90の制御インターフェイスは、リンクされたコンピュータのネットワークをサポートし、XM 90へのリモートアクセスを提供することができます。全体として、NOVELLUS XM 90は研究環境と生産環境の両方で設計された高度なスパッタリングシステムです。幅広いオプションと機能により、再現可能で高品質なフィルムのプロセスを正確に制御および最適化できます。さらに、このユニットは優れた安全機能、既存の施設への容易な統合、およびリモートアクセスを提供します。したがって、NOVELLUS/VARIAN XM 90は、信頼性と汎用性の高いスパッタリングマシンを求めるユーザーにとって理想的な選択肢です。