中古 NOVELLUS / VARIAN 3190 #9216672 を販売中

NOVELLUS/VARIAN 3190装置は、さまざまな材料に薄膜成膜するために使用される多室真空ベースのスパッタリングシステムです。これは、経済的に効率的でスループットに優しい方法で優れた薄膜特性を提供するように設計されています。VARIAN 3190は、2つのメインセクションを備えたマルチチャンバー設計を採用しています。前部部屋は基質の移動容器であり、材料の処理、プライミング、スパッタリング、および後処理の操作を含むすべての基質との仕事が始まる。背面チャンバーは真空チャンバーであり、特定のパラメータで高真空が生成されます。真空チャンバーは、材料、基板サイズ、堆積技術、およびその他の要因に応じてカスタム調整することができます。2つのメインチャンバーに加えて、NOVELLUS 3190は、インユニットのウェハーマグネティックタワー、半永久的なバッチダイレクタ、ファインコントロール磁気スパッタヘッドも備えています。磁気タワーには2つの磁石があり、基板を固定位置に保つことでフィルム成膜を安定させることができます。半永久的なバッチディレクターは、チャンバー間のマテリアルハンドリングの一部を自動化する強力な室内ロボットアームです。ロボットアームはまた、蒸着プロセスを正確に制御します。ファインコントロール磁気スパッタヘッドは、スパッタ時間と最大4つの異なるカソードの電源を正確に制御できる精密設計部品です。3190は、ユーザーフレンドリーで一貫したマテリアルハンドリング/スパッタリングマシンを提供するだけでなく、その低影響の環境設計でも認められています。このツールは、非常に低流量のカプセルベントチャンバーで動作するため、囲まれた環境と屋外の環境の両方に最適です。また、環境に優しい溶媒を使用できるように設計されており、揮発性有機化合物（VOC）の大気への放出を低減します。NOVELLUS/VARIAN 3190アセットは、信頼性の高い効率的なスパッタリングモデルであり、優れた成膜結果を提供します。複数のチャンバー、ロボットアーム、磁気スパッタヘッドを備えたこの装置は、さまざまな蒸着アプリケーションに効果的で柔軟なソリューションを提供します。また、VOC排出量とコストを削減し、環境に配慮したシステムとなっています。