中古 NOVELLUS MB2 #9270552 を販売中

NOVELLUS MB2は、今日の高度な半導体製造プロセスのニーズを満たすように設計された次世代スパッタリング装置です。最先端のプラズマジェネレータ、高性能ターゲット、プロセスチャンバー、更新されたユーザーフレンドリーな制御ソフトウェアなどの高度な技術を備えています。システムは高度に構成可能であり、大規模及び小規模製造プロジェクトの両方を可能にします。MB2のターゲットステージは、優れたスパッタリング精度で設計されており、幅広い材料をスパッタリングすることができます。ターゲットステージには、デジタルサーボモータドライバ、ラックレス垂直リフトアクチュエータ、およびさまざまな基板およびターゲットサイズに対応する位置チャンバーの柔軟性が含まれます。さらに、チャンバーは、その高度な差動ポンピングユニットのおかげで高いベース圧力を処理することができます。NOVELLUS MB2には、デュアルDCマグネトロンとRFダイオードという2つの高性能プラズマ源が搭載されています。どちらのソースも、あらゆる種類の蒸着プロセスをサポートするために、最大のプラズマ密度レベルを提供することができます。このデュアルマグネトロンは、ターゲット表面全体に広範囲で均一なカバレッジを提供し、基板の表面損傷を軽減します。MB2のユーザーインターフェイスは直感的で、すべてのマシンの機能を簡単に制御できます。更新された制御ソフトウェアを通じて、ユーザーは特定のニーズに合わせて減価償却パラメータをカスタマイズできます。NOVELLUS MB2は、さまざまなスパッタリングプロセスで使用できる信頼性の高い堅牢なツールです。高度な技術、制御ソフトウェア、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、半導体アプリケーションに最適なツールです。高精度・高精度を実現し、欠陥を最小限に抑えた高品質のレイヤーや基板を製造することができます。