中古 NOVELLUS MB2 #100079 を販売中

NOVELLUS MB2は、ハイスループット、高精度、反復可能なアプリケーション向けに設計された最先端のスパッタリング装置です。このシステムは、高度な堆積プロセスのための堅牢で効率的なプラットフォームを提供します。MB2スパッタリングユニットは、大小の基板領域にわたって優れたステップカバレッジを備えた非常に均一なコンフォーマルフィルムを製造することができます。NOVELLUS MB2は、高出力の無線周波数スパッタリングを使用して高速かつ効率的な成膜を可能にする独自のデジタルTVB（薄膜バナジウム）技術を搭載しています。高度な制御装置により、スパッタ蒸着プロセスを正確かつ再現可能にし、優れた材料の一貫性と基板全体の均一な厚さを提供します。Digital TVBは、高度なQuickStartパラメータと複数のプロセスプリセットも備えているため、オペレータは複数の蒸着プロセスを迅速かつ正確に設定および実行できます。MB2は、柔軟性と使用効率を提供するユニークな2チャンバー設計を提供します。一次成膜チャンバは最大200mmまでの基板に十分な大きさで、小型サンプルチャンバは最大75mmの基板に対応します。サンプルチャンバーは、メインチャンバーから独立してチューニングすることができ、メインチャンバーでの高いスループットと、サンプルチャンバーでのより最適なプロセスを可能にします。このツールには、化学蒸着プロセス用のAr、 O2、 N2など、さまざまなガスが装備されています。NOVELLUS MB2には、Quartz Crystal Microbalance/Quartz Crystal Impedance （QCM/QCI）センサーやOES（光放射分光法）センサーなどのプロセス監視システムもあります。これらのモニタリングシステムは、蒸着プロセスを密接に監視し、正確に制御するために使用され、高い精度と再現性を確保します。MB2は、オプトエレクトロニクス、マイクロエレクトロニクス、パワーデバイスなど、さまざまなアプリケーションに最適なさまざまなツールと技術を提供しています。高度な機能と信頼性を兼ね備えたNOVELLUS MB2は、精密蒸着プロセスに最適です。