中古 NORDIKO 9550 #293746228 を販売中

NORDIKO 9550は、薄膜の低温蒸着用に設計された2バルブ高圧スパッタ装置です。2つのチャンバーがあります。1つ目は、さまざまなバックフィル金属から薄膜を堆積させるために使用される薄膜成膜チャンバーで、2つ目は高圧チャンバで、システムに高圧ガスを充填して均一なスパッタ率を提供するために使用されます。このユニットは、乾燥したスパッタリングと濡れたスパッタリングの両方が可能です。機械では、最初のチャンバーは蒸着チャンバーと呼ばれ、ステンレス製のチャンバーと2つの信頼性の高いスパッタリングターゲットが装備されています。これらのターゲットは、さまざまなスパッタリング角度に合わせて調整でき、動作電圧範囲は最大1キロボルトです。蒸着チャンバには、チャンバー内のガス圧力を正確に制御する自動ガスインジェクタと、スパッタリング時の温度制御のためのチャンバー中央の熱電対が装備されています。工具の2番目のチャンバーは高圧チャンバーで、スパッタリング速度を向上させ、薄膜のより速い沈着を可能にするように設計されています。この部屋は隔離されたガスライン、高圧ガスの注入器および調節可能な圧力弁と設計されています。チャンバー内部の圧力は1000〜1400ミリバーの範囲で調整可能で、スパッタレートと粒度を最適に制御できます。このチャンバーにはDC制御マグネトロンも内蔵されており、スパッタリング用に均等に分散したアルゴンプラズマが生成されます。9550スパッタリングアセットは、高速、均一、大容量の薄膜蒸着が必要なアプリケーションに最適です。堅牢なパフォーマンス、特殊な機能、信頼性の高い結果を提供します。その2チャンバ設計と調整可能な圧力により、スパッタ速度と粒子サイズをカスタマイズして制御でき、DC制御マグネトロンはスパッタ用の均一で効率的なプラズマを保証します。さらに、モデルは費用対効果が高く、取付け、作動すること容易です。