中古 NORDIKO 3000 #9228384 を販売中

NORDIKO 3000は、蒸着室、真空ポンプ、電源、制御ユニット、および必要な部品で構成される完全なスパッタ装置です。このチャンバーは、薄膜蒸着のために基板にDC電圧を供給することを可能にする真空中の電気フィードスルーを持つように設計されています。真空ポンプと制御ユニットは、チャンバー内の最適な真空を可能にします。電源はマグネトロンを操作するためのもので、スパッタリングプロセスにエネルギーを供給します。3000は磁気懸濁液および脈打ったDCのスパッタリングの技術が装備されています。これにより、非常に良好な均質性、均一性、および堆積金属の優れた接着性を有する高接着性金属膜を基板に堆積させることができます。磁気懸濁液はかなり大きい基質の非常に均一な、良質の放出されたフィルムの特徴を、維持するのを助けます。NORDIKO 3000は、スパッタリングされたフィルムの金属層の堆積率と組成を制御する上で重要な役割を果たす調整可能な電力と周波数を備えています。調整可能なパルス周波数は、パルスからの非均一加熱ノードが排除されるため、蒸着速度も向上し、均一性が向上します。その結果、3000は基板に密着性の高い高密度および多孔質の薄膜を生成することができます。NORDIKO 3000システムのマルチチャンバー設計により、2つの基板を同時に処理できるため、スループットが向上します。また、非常にエネルギー効率が高く、プロセス時間の短縮、均一性の向上、再現性の向上を実現しています。さらに、ユニットは、その複数のシーリングオフ機による良好な環境保護を提供することができます。全体的に、3000スパッタリングツールは優れた性能を提供し、多くの異なる薄膜蒸着アプリケーションに適しています。それは金属および他の材料のための優秀な均等性、再現性および付着を提供でき、沈殿プロセスの大きい制御を可能にします。