中古 NORDIKO 2550 #11208 を販売中
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ID: 11208
Metal sputtering systems
(4) Targets, 8"
Turbo loadlock
DC P/S
RF Generator
CTI Cryo pump
VME Controller
Cassette to cassette
Computer controlled.
NORDIKO 2550は物理的な蒸着(PVD)プロセスのための最先端のスパッタリング装置であり、特に広い領域の繰り返しと信頼性の高いスパッタリングのために設計されています。このシステムには、プロセスチャンバー、高精度ロボットハンドリング、複数のスパッタリングターゲットが含まれており、可能な限り最高のプロセスレートを提供し、リアルタイムで監視および制御することができます。このユニットは、最大4。5Mbarの圧力に耐えるように設計された印象的な真空チャンバーを備えており、効率的な均一なスパッタリングに理想的なジオメトリを備えています。この革新的なモーションマシンは、高精度のロボットを使用して標本とスパッタリングターゲットをチャンバーの周りに移動させ、2軸回転ジンバルを使用して、スムーズで正確なプロセス調整と角度調整を行います。ロボットアームは高さと向きを独立して調整し、チャンバー内のどこでもスムーズなスパッタリングを保証します。2550は、カスタムターゲットホルダーと複数の個別制御スパッタリングソースを備えているため、異なるターゲット材料とプロセスパラメータを一致させることができます。これにより、スパッタリングプロセスの迅速な加速と高いプロセス品質が保証され、非常に均一で均一なコーティングが得られます。ターゲットソースは、側面ごとに最大8つのスパッタソースで水平または垂直に設定できます。NORDIKO 2550は、自動車業界の機能部品やシステムの製造に最適なツールで、PVDプロセスを幅広く活用しています。信頼性の高いスパッタリングツールは、最大900mmの領域にわたってあらゆる種類の表面に大きな均一で反復可能なコーティングを製造することができます。この資産は、プラチナなどの貴金属から、合金、およびマグネトロンスパッタリングプロセスに使用されるすべての材料まで、幅広いターゲット材料を提供しています。すべてのターゲットソースは簡単に交換可能で、さまざまなプロセスに迅速かつ効率的にセットアップできます。さらに、2550には、任意のプロセスパラメータをリアルタイムで監視および調整できるプロセス制御モデルが含まれています。これにより、プロセスの再現性とコーティング結果の高精度を保証し、コーティング厚さの均一性を最小限に抑えます。NORDIKO 2550は、非常に使いやすいインターフェイスとあらゆるタイプのプロセスへの適応性を備えた信頼性の高いPVDプロセスに最適です。この装置は、優れたコーティング均一性を提供するように設計されています。また、迅速かつ簡単なプロセス設定を提供し、工業用大量生産プロセスに理想的なスパッタリングシステムです。
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