中古 NMC iTOPS A230 #9375102 を販売中
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NMC iTOPS A230スパッタリング装置は、材料科学、半導体、薄膜アプリケーション向けに開発された業界トップクラスのスパッタリングシステムです。iTOPS A230は、現代の科学技術の要求に応えるために設計された、高精度の薄膜と優れた均一性と再現性を備えた複雑な層構造を製造することができる強力なスパッタリングユニットです。NMC iTOPS A230は、最大8つの独立したスパッタターゲット、最大3つの電動X-Y変換ステージ、および高度なプロセス制御マシンを備えたマルチターゲットプラットフォームです。複数の金属と金属の酸化物ターゲットを同時にスパッタする機能を提供し、高度な層構造のフィルム組成を柔軟に変化させることができます。高品質の薄膜蒸着を確保するために、ITOPS A230スパッタリングシステムは、300°Cまでの動作温度と20kWまでの目標電力を備えた、高レートおよび高純度のスパッタリングプロセスの両方が可能です。また、レイヤーの厚さを制御するための高精度なターゲット高さ調整ツールと、正確で繰り返し可能な結果を保証するクローズドループのプロセス制御アセットも備えています。NMC iTOPS A230には、自動粒子除去モデル、RFジェネレータ、ロードロック、マグネトロン電源、温度制御装置など、さまざまな補助部品やアクセサリも付属しています。これは、安全性、清潔性、およびプロセス制御の最高水準を確保するのに役立ちます。全体として、iTOPS A230は、ユーザーに比類のないパフォーマンスと柔軟性を提供する、信頼性の高い汎用性の高いスパッタリングシステムです。最新の技術と技術を組み合わせることで、薄膜を堆積する際の最高レベルの精度と性能を実現することができます。
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