中古 NMC iTOPS A230 #293639723 を販売中

NMC iTOPS A230は、NMCが製造する高度な物理蒸着（PVD）スパッタリング装置です。それは産業、商業および研究の適用の広い範囲のために設計されています。このシステムは、金属および誘電性酸化物薄膜を様々な基板に堆積させることができ、正確な制御レベルで高品質の薄膜を製造する際の優れた性能を提供します。スパッタリングユニットは、ステンレス鋼とアルミニウムから構成される標準的な金属チャンバーに収容されており、高温および圧力に耐えるように設計された蓋が付いています。チャンバーはシールドされたソースチャンバーに接続されており、マグネトロンスパッタリング源を収容し、正と負のバイアス操作の両方が可能です。DC電源を搭載した強力なマグネトロンは、ターゲット材料を基板にスパッタするために使用されるプラズマを生成します。チャンバーには、異なるソース間の切り替えを可能にし、遷移エラーを防止する高エネルギーのソレノイド駆動ソース切替機が装備されています。このツールには自動ロードロックフィードアセットが装備されており、すべての動作条件下で基板のスムーズな処理を保証します。また、効率的なガス排気モデルと強力な真空ポンプが含まれており、蒸着プロセスのための高水準の真空条件を維持することができます。装置のデジタル制御技術を通してプロセスパラメータのフルセットを設定することができ、ユーザーはスパッタプロセスを正確かつ正確に制御することができます。操作中の性能パラメータを監視するために、システムは光学および赤外線感知の技術の組合せが装備されています。一連の光検出器により、成膜速度、膜質、膜厚を連続的に監視できます。IR検出器は、堆積膜の温度変動および化学組成を測定するために使用されます。また、高度な自動レイヤーコンポジションコントロールマシンを備えており、レイヤーのコンポジションを正確に制御できます。統合されたソフトウェアパッケージにより、このツールは非常にユーザーフレンドリーで監視と制御が簡単になります。結論として、iTOPS A230スパッタリングアセットは、産業、商業、研究のさまざまなアプリケーションに適した高度なモデルです。精密工学と先進技術の組み合わせにより、薄膜成膜プロセスを完全に制御し、信頼性の高い一貫した薄膜品質を保証します。