中古 NEXX SYSTEMS Nimbus 314HP #9289494 を販売中

NEXX SYSTEMS Nimbus 314HPは、薄膜蒸着用途向けに設計された高度なスパッタリング装置です。このシステムは、研究および生産レベルのアプリケーションの両方に最適であり、薄膜成膜に正確で信頼性の高いスパッタリングを提供します。高純度ガスデリバリーユニットを内蔵し、再現性の高い再現性を実現しています。このマシンは、高出力のrfソース、チャンバー、真空ツールの3つのコンポーネントで構成されています。rfソースは、最大出力100kWの高出力動作を提供するように設計されています。それはまた速い冷却、精密な圧力制御およびきれいな操作のために設計されています。部屋はステンレス鋼から組み立てられ、アルミニウムと並び、堅牢で耐久性のある環境を提供します。また、前面から調整できるターゲットのセルフアライメント、その場での加熱資産、オートドアローダー、および高出力の蒸着工具用のオプションの冷却を備えています。真空モデルは高性能および低い維持のために設計されています。それは10-2 Torrに加圧され、効率的な操作と高度なプロセス制御を可能にします。真空装置は、ターボ分子ポンプ、ラフポンプ、ラフ真空ポンプ、メカニカルバックレーションゲージ、低温ゲッターで構成されています。この制御システムは、色分けされたパラメータやセットポイントインジケータなどの機能を備えており、プロセスの調整や制御を容易にすることができます。ニンバスの314HPは産業および研究のスパッタリングの適用にとって理想的です。高度な機能と完全な安全システムを備えており、信頼性の高い操作と再現性の高い結果を保証します。ユニットはまた、簡単なメンテナンス、低メンテナンスコスト、および長期的な耐用年数のために設計されています。その汎用性は、基本的な薄膜成膜から複雑な多層スパッタリングまで、幅広い用途に適しています。