中古 NEXX SYSTEMS Nimbus 304 #9260884 を販売中

NEXX SYSTEMSニンバス304スパッタコーティング装置は、研究および産業用スパッタリング用途に高性能で最適な柔軟性を提供する独自の蒸着システムです。このユニットは、アプリケーション固有のプロセス制御システムを含む大規模および小規模プロセスの要件を満たすように独自に設計されています。Nimbus 304は、6×6インチ（152 mm）のチャンバー、高性能マグネトロンスパッタ源、およびパルスDC （PDC）電源を使用して、優れた均一性、一貫性、再現性のあるスパッタ薄膜コーティングを作成します。ガス流量と圧力、基板加熱、電源、ターゲット電流、チャンバ圧力、およびプロセス室圧力制御は、所望のコーティング材料と厚さプロファイルを正確に提供するために調整することができる変数の1つです。この高出力容量により、スパッタ蒸着速度がより効率的になり、PDCプロセス制御技術はプロセスの変動を低減し、複雑な薄膜要件の均一性を向上させます。スパッタ源は、絶縁金属、窒化物、炭化物、酸化物、および導電性複合材料を含むすべての標準スパッタ材料で使用するように設計されています。NEXX SYSTEMS Nimbus 304は、高度なプロセス制御および監視システムを使用して、優れたプロセス再現性を提供します。このマシンには、最高のパフォーマンスと結果を保証するためのコーティングレシピとカスタマイズ可能な開発オプションの包括的なライブラリが含まれています。直感的なユーザーインターフェイス、タッチスクリーンコントロールパネル、統合された診断機能により、すべてのスパッタリングプロセスを簡単に設定およびカスタマイズできます。このツールはまた、より速い基板冷却とより短いクールダウン時間のための低温冷却を提供します。冷却資産には、約-100°Cの温度に対する位相変化低温冷却が含まれています。6インチのチャンバーは、低温冷却技術とともに、クールダウン時間によるスパッタ損失を大幅に低減し、高品質の再現可能な薄膜を確保するのに役立ちます。Nimbus 304スパッタモデルは、パッシブまたはアクティブリーク検出、高度な安全プロトコル、および個人用保護装置を備えており、処理中のユーザーの安全を確保します。また、オンラインサービスの診断と制御、簡単にアクセス可能な部品交換により、メンテナンスが容易になります。