中古 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9222754 を販売中

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Starは、材料の薄膜を制御された効率的な方法で基板に堆積させるために設計された物理蒸着（PVD）スパッタリング装置です。MRC Eclipse Starには8インチのシングルウェーハロードロックチャンバーが装備されており、大気汚染を低減します。幅広い素材や基板に対応しており、様々なカスタムコーティング用途に最適です。TEL Eclipse Starは、さまざまなRFおよびDC電源を搭載した平面マグネトロン、マルチピースターゲット、専用カソードなど、幅広いスパッタリング源を備えています。これにより、様々なフォーマットの基板への材料のターゲット沈着が可能になります。また、低基板加熱技術を採用し、スパッタフィルムの均一性を向上させながら、温度に敏感な材料を堆積させます。TOKYO ELECTRON Eclipse Starは、ユーザー入力と機械監視用のネットワークPCを備えた最適なプロセス制御用に設計されています。また、クローズドループプロセス制御を備えているため、スパッタリングパラメータのクローズドループ制御により、正確で反復可能なコーティング性能を実現します。このツールは、温度コントローラ、マルチガスバルブ、基板回転、リニアモーショントラッカーなどのアクセサリのクラスタで完了します。さらに、アセットには高度なプロセスモニタリング機能が搭載されており、プロセス制御が向上しています。また、SECS/GEMプロトコルを含む強力な計測ソフトウェアとハードウェアが含まれており、クローズドループのプロセス制御とプロセス結果のリアルタイムプロセス監視を可能にします。Eclipse Starは、効率的で信頼性の高い再現性のあるコーティング結果を提供する、幅広い薄膜成膜ニーズに対応する費用対効果の高いソリューションです。これは、簡単なインストールとメンテナンスのためのモジュラー設計と、カスタムワークフローに適した機器を作るスパッタリングソース、温度制御システム、およびカスタムアクセサリの広い範囲を備えています。高度なプロセス監視機能と計測ハードウェアとソフトウェアにより、MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Starはあらゆる薄膜蒸着アプリケーションに最適なソリューションです。