中古 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9108496 を販売中

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Starは、幅広い材料に優れた成膜を提供するために設計されたスパッタリング装置です。このシステム独自の機能により、金属スパッタターゲットの均一性と均一な被覆、ならびに誘電体、金属酸化物、窒化物の均一な堆積が可能になります。MRC Eclipse Starは、専用のプラズマクリーニングを備えたデュアルガンDCスパッタリングユニットです。アニール・熱処理用の高温ベル炉と、10-7 Paの基底真空に達する高真空能力を備えており、ガスや液体を含む様々なプロセス、スパッタリングや蒸発プロセスに適しています。主なコンポーネントは、2ガンスパッタリング源、高温ベル炉、プラズマクリーナー、電子ビーム蒸発源、および高真空ポンプ機です。スパッタリングガンは、ターゲット材料に向かって正に帯電したアルゴン原子のビームを加速することによって機能し、スパッタリングをもたらします。各スパッタガンの背後にある強力な磁石アレイは、アルゴン原子ビームのガイドとして機能し、その結果、標的材料の均一なカバレッジが得られます。高温ベル炉は、1200Cまでの温度でウェーハ基板をアニールまたは熱処理するために使用できます。これにより、III-VおよびII-VI材料を処理する際の結晶構造とドーピングプロファイルの制御が向上し、金属を使用する際の歩留まりが向上します。さらに、炉とスパッタリングガンの組み合わせにより、堆積厚の均一性と広い領域の均一なカバレッジが向上します。TEL Eclipse Starは、スパッタターゲットの高い均一性と均一な被覆を必要とするプロセス向けに設計された、信頼性の高い実証済みの成膜ツールです。その特徴は、様々な材料の信頼性の高い沈着とフィルムの均一性の向上を可能にし、様々なスパッタリング用途での使用を可能にします。