中古 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse Star #9108489 を販売中

MRC（旧TEL） MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse Starは、不活性ガスを利用してターゲット物質から原子を分解し、基板の表面に堆積させて被覆する堅牢なスパッタリング装置です。このシステムの低エネルギー機能には、可変マグニチュード（高エネルギーまたは低エネルギー）のスパッタ源と、プロセス制御のための密集した設計を備えたコンパクトなチャンバーが含まれます。MRC Eclipse Starの出力範囲は1〜15kW、スパッタ速度は最大3nm/minです。それは2つの端の場所の作動モードが装備されています：インラインおよび端の場所。インラインモードは、ウエハ表面からスパッタ源を離れて配置する従来のスパッタリングプロセスをサポートします。一方、エッジステーションモードは、スパッタ源をウェーハ表面に近づけて、エッジ定義の酸化層を作成します。このスパッタリングユニットは、低エネルギーコーティングと高エネルギーコーティングの両方に対応し、サーマルおよびRFアプリケーションのサポートを提供します。電子サイクロトロン共鳴（ECR）とパワーフィードフォワード（PFF）は、機械に組み込まれた高度なプロセス制御とフィードバックアルゴリズムを使用して、フルフィールドプラズマ制御を可能にします。さらに、RF信号を最大500kHzまで調整できるPowerSourceモジュールを使用することで電力が調整されます。TEL Eclipse Starは、最大4つの質量分析計、最大200mmのウエハサイズの複数のガス源で動作できます。プリインストールされた配線ラチェットは過剰トルクを防ぎ、SCARAロボットはより速いローディング、荷を下すこと、およびウェーハの処理速度を提供します。このツールの高度な機能セットには、マルチターゲットスパッタリングチャンバーも含まれており、複数の異なる材料を単一の基板に堆積させることができます。Eclipse Starは、現場診断と資産監視も可能です。その高度な診断機能は目視検査を超えて拡張され、その場での化学分析のための抽出ポートが堆積されています。東京電機Eclipse Starモデルは、高精度で再現性、信頼性、再現性100％の結果を実現します。また、クローズドループ・プロセス制御、高速ウェハエンドポイント検出、精密エッチング制御、完全自動運転などの高度な機能も備えています。