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MRC Redux
製造業者
MRC
モデル
Redux
ID: 293652074
System.
MRC Reduxは、材料の薄い層を基板に堆積させるために、現代の産業および研究環境で使用されるスパッタリングシステムです。これは、避難したチャンバー内にプラズマを作成し、それを使用して標的物質を爆撃し、スパッタして基板に堆積させることによって機能します。このプロセスは、層の厚さを正確に制御できるため、非常に正確です。Reduxの中心には、アルゴン、キセノン、窒素などのプロセスガスを含む真空チャンバーがあります。これにより、プロセスが安定した環境で行われることができます。真空チャンバーの上にスパッタターゲットがあり、これは薄い層に使用される材料です。ターゲットは、コーティングが適用される材料である基板に直面するように配置されます。スパッタリング処理を容易にするために、マグネトロンヘッドを使用して電界が発生します。この電場によって電子がプロセスガスから放出され、チャンバー内にプラズマ雰囲気が生じます。このプラズマの中で、プロセスガスの正イオンはスパッタターゲットの方向に移動し、それを爆撃し、材料のより小さな原子の放出を引き起こします。プラズマ中のマイナスイオンは基材に引き付けられ、プラスイオンとマイナスイオンの組み合わせで基材にコーティングを施すことができます。マグネトロンの放電は通常500W以下ですが、特定のプロセスに応じて必要に応じて調整できます。マグネトロンのガス流量、圧力、排出電力を調整することで、ターゲットから除去される材料の量を制御することができます。これにより、基板に適用される材料の厚さに関してより高い精度が得られます。さらに、プラズマは、コーティングの特徴を変えるために異なる放出スペクトルを生成するために変化させることができます。全体的に、MRC Reduxは、薄い層のコーティング材の柔軟性、精度、信頼性のために選択されています。このプロセスは、多くの産業および研究用途に最適なきれいで均一な層を生成します。
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