中古 MRC / MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse #9238094 を販売中

MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipseは、半導体や誘電体デバイスの製造など、さまざまな薄膜アプリケーションに使用される汎用スパッタ装置です。独自に制御された2つの電子銃を同じスパッタリングチャンバーに使用し、1工程で複数のフィルム材料を高精度かつ高再現性で堆積させる独自のデュアルガン設計を採用しています。電子銃はチャンバーの反対側に配置されており、MRC Eclipseのパワー機能を2つの統合電源で正確に制御することができます。Eclipseはまた、特許取得済みのリニアモーションフィーダユニットを備えた精密な蒸着制御システムを備えており、単層または多層アプリケーションの基板全体で優れた均一性を提供します。本機は、マグネトロンスパッタリング、低温重水素プラズマ蒸着などの複数のフィルム蒸着技術を搭載しており、高解像度回転ターゲットによる高出力パルスプラズマ蒸着も可能です。回転ターゲットは、大面積の基板上のフィルムの均一性を向上させることができます、プラズマパルス周波数は、より高い沈着率と改善されたプロセスの再現性をもたらします。さらに、半球ソースオプションは、Eclipseの機能に多彩なレイヤーを提供し、基板固有のカスタムスパッタリングプロセスを可能にします。MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipseの汎用性は、薄膜機器メーカーのプロセスツールとの互換性だけでなく、幅広い基板、ターゲット、機器部品に対応することにより、さらに強化されています。MRC Eclipseはまた、プロセスの信頼性と制御を向上させるための幅広いオートメーション機能を提供します。プロセスインターフェイスには、手動およびプログラム可能なモード、スクリプトによる完全なプロセスオートメーション、および簡単なレシピのセットアップと制御のためのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスが含まれています。MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipseは、すべての機能を組み合わせて、高精度のデバイス製造のための比類のないスパッタリング機能を提供します。