中古 MRC / MATERIALS RESEARCH CORPORATION Eclipse #293829725 を販売中

MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION MRC （MATERIALS RESEARCH CORPORATION）のエクリプススパッタリング装置は、金属、化合物、酸化物の薄膜蒸着に使用される幅広い成膜工具です。半導体、医療、光学、ディスプレイ業界の先端材料構造に適しています。MRC Eclipseスパッタリングシステムは、柔軟性と信頼性を念頭に置いて設計されています。コンパクトなフットプリントにより、貴重なラボスペースを節約しながら、効率的なスパッタリングと最大スループットを提供します。ユニットの制御ソフトウェアは、リモートコントロールと迅速かつ反復可能なプロセスステップを可能にします。自動化された基板ヒーターを備えているため、基板処理の高速化と制御の強化が可能です。マテリアルズリサーチ株式会社エクリプススパッタリングマシンは、スパッタソースと複数の構成の幅広い選択が含まれており、特定のプロセスのニーズに合わせてカスタマイズすることができます。直流（DC）スパッタリングを利用し、成膜速度を高めながら粒子形成を最小限に抑えます。このツールはまた、マグネトロンスパッタリングを利用して、沈着速度と材料の均一性をさらに最大化します。Eclipseスパッタリングアセットは、複数の基板サイズと形状を精密に処理することができます。最大300mmのウエハサイズの基板をサポートし、プロセスのクローズドループ制御によってサポートされる自動基板スキャンおよびマッピング機能を備えています。このオートメーションにより、ウェーハからウェーハまでの再現性と優れた均一性が保証されます。MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATIONエクリプススパッタリングモデルは、比類のない精度と材料使用率を提供する高精度ビームラインを備えています。低温でのスパッタリングが可能で、歩留まりを高め、炭素汚染や基板加熱を低減します。この装置は、使用されていないソースを無効にし、スパッタ材料をさらに節約することもできます。全体として、MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATIONのMRC Eclipseスパッタリングシステムは、幅広い産業向けの薄膜蒸着に最適です。優れた信頼性と柔軟な構成で設計されており、効率的で反復可能なプロセスを可能にし、優れた均一性と歩留まりを保証します。