中古 MRC / MAT-VAC 943 #9173799 を販売中

MRC/MAT-VAC 943は、多賀製作所が薄膜成膜用途向けに開発した汎用真空スパッタ装置です。ガラス、プラスチック、シリコン、セラミックなどの基板に、高い精度、再現性、均一性を持つ幅広い材料特性を付加することができます。単位は2つの主要な部品から成っています-陰極を収容する主要な部屋およびスパッタリングプロセスを遂行するのに使用される真空のエンクロージャ。メインチャンバーには、直流または無線周波数の電源が供給されます。陽極と陰極はチャンバーに接続され、基板はその間に配置されます。陽極はターゲット材料であり、陰極はスパッタ材料を引き付けます。メインチャンバーの圧力は、ポンプの助けを借りて真空を作成することによって維持されます。温度、酸素およびアルゴンのレベルのような部屋の他の変数を制御するためにガス入口はまた存在します。チャンバー内の温度は5°C〜1000°Cの範囲で、圧力は0。5 mbar〜1000 mbarの範囲で調整可能です。マシンへの電源入力は0。01 A〜100 Aで、周波数範囲は1 kHz〜50 kHzです。望ましいスパッタ沈着率を達成するのに十分な速さです。このツールは、タッチパッド入力と詳細な制御操作を備えた安全連動システムやガス警報などの安全機能で設計されています。また、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスと組み込みデータロギングソフトウェアを備えており、ユーザーはリアルタイムの監視とカスタムレポート機能を実行できます。さらに、このアセットは、ターボ分子と拡散ポンプを使用して高い究極の圧力を維持するために、統合された真空モデルで設計されています。また、この装置は温度制御システムで設計されており、ユーザーは蒸着中に基板表面全体に一定の温度プロファイルを維持することができます。結論として、MRC 943は堅牢で信頼性の高いスパッタユニットであり、ほぼすべての薄膜蒸着要件を満たすように調整することができます。無線周波数源や急速なハイエンド冷却システムなどの先進的な技術を組み込むことができます。高精度で再現性のある薄膜成膜を必要とするあらゆる用途に最適です。