中古 MRC Mark II #293652072 を販売中

MRC Mark IIは、高性能スパッタリング装置です。大型サンプルチャンバーと高い陰極パワー密度を備えたパルスDCタイプです。Mark IIは、卓越した性能、精度、汎用性のために設計されています。それは高性能および信頼性のさまざまな材料の急速で、均一なコーティングを提供するように設計されています。MRC Mark IIは、スパッタリングチャンバーとRFソースの2つの主要コンポーネントで構成されています。スパッタリングチャンバーは、ステンレス鋼で構成され、上昇シールドトップと特別な断熱材を備えています。これは、2つの平面カソードと2つの長方形のターゲットが装備されています。ターゲットは、均一で一貫したスパッタリングを達成するために個別に、正確に調整することができます。RFソースは、高出力、低周波フィールドを提供することができ、効果的に材料の広い範囲をスパッタすることができます。マークIIは幅広い体制で運用可能である。高出力RF源は、高出力動作よりも均一な蒸着のための効率的なスパッタリング、低出力カソード砲撃、低出力蒸着、さらには中出力動作のための高出力イオン砲撃を提供することができます。また、射撃相と沈着相を切り替える交互運転モードを実現する独自の機能を搭載し、フィルムの均一性を高めることで、より高い沈着率を実現しています。MRC Mark IIは汎用性が高く、幅広い材料をスパッタすることができます。セラミックス、絶縁体、金属、半導体材料などの材料向けに設計されています。このユニットには、回転サンプルホルダーや機械化された回転シャッターなどの特別なアクセサリーも装備されています。これらの特徴は、様々な寸法の薄膜と厚膜の両方の堆積を可能にします。プロセス制御の面では、Mark IIは非常にユーザーフレンドリーで、最適なプロセス制御を提供するグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。スパッタリングプロセスは、監視、微調整、および容易に調整することができます。また、インターロック、可聴アラームまたは視覚アラーム、不正アクセスに対するパスコード保護などの高度な安全機能も備えています。要約すると、MRC Mark IIは精度と汎用性のために設計された高度なスパッタリングツールです。それは2つの主要な部品で構成され、多数の高性能の特徴を提供し、高度の安全特徴の優秀なプロセス制御を提供します。幅広い用途に最適です。