中古 MRC Eclipse #9144009 を販売中

MRC Eclipseは、半導体、コーティング光学、ナノテクノロジーなど、さまざまな業界で広く使用されているスパッタ装置です。プラズマ活性沈着（PAD）技術を採用し、スパッタ粒子の運動エネルギーを制御し、優れたコーティング特性とプロセス安定性を確保します。PAD Technologyは、より高いスループット、均一性の向上、および堆積膜の優れた接着性を可能にします。Eclipseは、優れたスパッタリングプロセスを実現するために、改良された設計と独自の技術の組み合わせを利用しています。これは、PCベースのプロセスコントローラのペアが装備されているモーションステージのペアを備えています。コントローラーにはパワフルで前向きなソフトウェアが搭載されており、スパッタプロセスを正確に制御できます。高度なアルゴリズムは、スパッタリングプロセス中に発生する可能性のある様々な非線形現象を補償します。さらに、ソフトウェアは、自動、バッチ処理機能を使用して簡単なレシピベースの処理を可能にします。MRC Eclipseの真空チャンバはデュアルウォール絶縁であり、熱安定性を向上させます。また、最適化された設計により、運用コストを削減し、ガス消費を最小限に抑えることができます。チャンバーには専用のアンチカンバも備えており、チャンバの高速スループットを実現しています。Eclipseには、ツールのパフォーマンスを向上させるいくつかのユニークな機能も含まれています。高レートプレッシャーセンサーとフィードバックチップは、常に圧力性能を監視し補償し、最適なプロセス安定性と信頼性を確保します。さらに、システムには信頼性の高い蒸着モニターが含まれており、ユニットのパフォーマンスを継続的に追跡し、プロセスの最適化とプロセス追跡に役立つ情報を提供します。これらのすべての機能により、MRC Eclipseは優れた品質と性能を提供できる信頼性と費用対効果の高いスパッタリングマシンになります。マスキング、パターニング、エッチングなど、さまざまな業界で広く使用されており、その優れた技術と信頼性の高い性能により、高精度スパッタリングプロセスに最適です。