中古 MRC 943 #9220994 を販売中

MRC 943スパッタリング装置は、様々な材料のプラズマ層でサンプルをコーティングするために設計されたデュアルチャンバーシステムです。この単位は4つの磁気的に高められた白熱放電モデルから成り、標準（S）および長い沈殿（L）を含んでいます；標準および高フィラメント（HF）構成のそれぞれ。このコーティング機械は多目的な設計および広い適用範囲によるさまざまな適用の使用にとって理想的です。943スパッタリングツールは、2つのスパッタリングチャンバーで構成されています。メインチャンバーはアセットの下部で、フィラメント構成が含まれています。これは、望ましいコーティング材料を基板に堆積させるために必要なプラズマを生成する主な作業領域です。このチャンバー内には2つの電極があり、アプリケーションに応じて標準または高フィラメントのいずれかである可能性があります。2つの電極には別個の高電圧電源が搭載されており、磁石を搭載して効率を高めています。さらに、チャンバーにはターボ分子ポンプが装備されており、残留プラズマまたはガスのチャンバーを避難させるのに役立ちます。モデルの上部には、プロセス室を含む2番目のチャンバーがあります。このチャンバーは、装置全体の均一な圧力と温度を維持するように設計されています。このチャンバー内では、基板をベースプレートの上に置き、蓋で閉じて密閉されたシステムを形成します。加熱源は、この空間内の温度を制御するために使用され、また、所望の圧力を維持するための責任があります。このユニットは、従来の物理蒸着（PVD）プロセスの代替として使用されています。基板への損傷を最小限に抑えながら、フィルムのコストを削減するように設計されています。また、潜在的に堆積率を増加させながらエネルギー要件を低減するため、他の方法よりも効率的です。また、塗料は用途に応じて異なる組成で塗布することができるため、柔軟性もあります。さらに、マグネトロンはコーティングプロセスを正確に制御し、高い精度と精度を実現します。全体として、MRC 943スパッタリングツールは、さまざまな業界の精密コーティング用途に最適です。薄膜を基板に堆積させるための多目的かつ効率的な方法であり、信頼性と高い均一性を備えています。