中古 MRC 943 #9155815 を販売中

MRC 943は、8インチまでのシングルウェーハを処理し、パルスリバーススパッタリング機能を備えたスパッタリング装置です。このシステムは、ロードロックとメカニズムを備えており、ウエハをオクタゴンスパッタチャンバー（4。5〜8インチ）またはクワッドチャンバー（4〜4。5インチ）に輸送できます。2つのチャンバは独立してまたは同期して操作でき、幅広いプロセスの可能性をサポートします。八角形のチャンバーでは、磁石を回転させてターゲット上のArガスイオン爆撃の程度を調整することができます。これは、沈着速度の重要な要因です。どちらのチャンバーも、基板上の温度を一定に保つために熱電冷却ユニットを採用しています。スパッタガン電源モジュールには、最大2.5kWの直流（DC）出力と、パルスリバーススパッタリング用の最大1kWの無線周波数（RF）出力が含まれています。マルチコンポーネントカソードには最大3つのスパッタ源があり、ターゲットから基板までの距離に応じて異なる組成、サイズ、および優先的に指示される粒子の粒子を可能にします。これにより、様々な物理的および化学的特性を持つ合金の堆積を調整することができます。943のベースユニットには、リアルタイムのプロセス情報とステータスを表示する制御インターフェイスが装備されています。このマシンは、自律的なウェーハツーウェーハプロセスの再現性を可能にするフィードバックループを採用しており、複数のレシピで使用するためにプログラムすることができます。これにより、エンドユーザーは複数のプロセスのためにツールを事前にプログラムし、手動入力を必要とせずに操作のためにそれらをスケジュールすることができます。また、MRC 943は、反応スパッタ蒸着用に最大5つのガスを備えたガス制御資産を備えており、安全性を向上させ、モデルの環境フットプリントを削減するために、両方のチャンバーに統合されたスクラバーも含まれています。また、八角形チャンバーに設置された動的質量分析計により、現場監視などのプロセス監視技術を使用してプロセスの再現性と一貫性を確保することができます。要約すると、943スパッタリング装置は、最大8本のシングルウェーハをスパッタリングするための高度で信頼性の高いプロセスプラットフォームを提供します。システムは、効率的な冷却とプロセス制御だけでなく、安全性、環境および監視機能を備えています。