中古 MRC 943 #293749818 を販売中
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ID: 293749818
ヴィンテージ: 1980
In-Line DC Magnetron sputtering system
Position: 3-Target
RF Cathode system
EDWARDS / CTI CRYOGENICS Cryo-Torr Pump, 8"
LEYBOLD D30A Rotary vane pump
LEYBOLD WSU-151 Roots blower
EDWARDS / CTI 9600 Compressor
Does not include targets
Manuals
Baratron gauge non-functional
Missing parts:
Load lock cryopump
Transport scan motor
1980 vintage.
MRC 943は、DC/RFスパッタ装置で、科学実験室の基板上に薄膜を製造するために使用されます。0。002〜10nm/sの蒸着速度範囲で様々な厚さのコーティング材料に適しています。このシステムは、蒸着チャンバ、RF/DC電源、補助ガス供給ユニット、真空機で構成されています。この蒸着チャンバーは、直径10インチまでの垂直に取り付けられたマグネトロンターゲットと、統合されたカウンタ電極を備えています。機械式・油圧式ポンプ、ドライブースターポンプ、高真空運転のターボ分子ポンプを含む真空工具に接続されています。さらに、このアセットには、スパッタリングプロセス制御および前駆体配達に使用される補助ガス配達モデルが搭載されています。RF/DC電源は、均一な成膜に最大300Wの電力を供給し、ターゲット浸食を補償するためにも使用できます。装置は高度にカスタマイズ可能であり、さまざまな反応ガスおよび前駆体と使用することができます。マルチゾーン監視機能を備えたマイクロプロセッサベースのコントローラを搭載しています。手動または自動操作が可能で、高度な健康診断と安全機能を備えています。また、リモートコミュニケーション機能をサポートしているため、システムをリモートで監視および制御し、より柔軟性と利便性をユーザーに提供することができます。要するに、943は様々な薄膜用途に適した信頼性の高い高性能スパッタリングユニットです。
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