中古 MRC 943 #293627993 を販売中

MRC 943は、高度なマグネトロンベースの技術を使用して、異なる基板上に材料の薄膜を堆積させるスパッタ装置の一種です。これは、材料の薄膜を堆積するための簡単で費用対効果の高い方法を提供するデジタルPVD（物理蒸着）ツールです。このシステムは、材料を非常に低い材料コストで高い蒸着率で堆積するように特別に設計されたeVance™技術を備えています。943は、2つのマグネトロンスパッタリングモジュールを利用したマルチチャンバーユニットで、金属、酸化物、ケイ化物、カーボンナノチューブなどのさまざまな種類の薄膜を生成するように設計されています。非接触基板の搬送工具を使用し、連続運転を可能にし、優れた表面均一性を実現します。スマートコントロールモジュールとデータロギング機能を備えており、最大限のプロセス制御と最適化を可能にします。フィルム材料を堆積させるための2つのスパッタリングターゲットを備えています。ターゲットはチャンバーに取り付けられ、円筒形です。ターゲットは、アルミニウム、ステンレス、タンタルなどの固体金属でできています。ターゲットには非常に高い抵抗があり、これにより、低い沈着率で良質なフィルムを製造することができます。MRC 943アセットには、高精度で反復可能なスパッタリングプロセスを作成する誘導結合プラズマ源が装備されています。このプラズマ源には、調整可能な電源を備えた高電圧ラインがあり、プラズマエネルギーを正確に制御できます。943は、基板温度、電圧、圧力などのプロセスパラメータの自動プログラミングを提供する、高速で動的なパワー制御モデルを内蔵しています。また、セルフチューニングモードを備えており、装置は自動的にプロセスパラメータを調整して、成膜プロセスを最適化することができます。このシステムには、in-situ膜厚モニターと、フィルム特性評価用のオプションの電子分光計も装備されています。これにより、堆積プロセスをより正確に監視し、堆積膜を分析することができます。ユニットは信頼性が高く、完全に自動化され、ユーザーフレンドリーです。光学、電気、機械、および生物医学の適用のための薄膜の沈殿のようなさまざまな適用に使用することができる多目的な機械です。MRC 943は、PVDにおける今日の要求を満たすための効果的で効率的で信頼性の高いツールです。