中古 MRC 942 #9171703 を販売中
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MRC 942は、研究開発用に設計された多目的マグネトロンスパッタリング装置です。これは、利用可能な最も先進的で信頼性の高いスパッタリングシステムの1つです。942には最先端のフルレンジDC/RF電源、真空ポンプ、および最大4つのターゲットの独立したスパッタリングを可能にするマグネット設定およびターゲット電流用のコントローラが装備されています。このシステムは、気候制御された低振動のクラスAクリーンルーム内にあり、スパッタリングのための汚染のない環境を提供します。ユーザーは、さまざまなパラメータと設定を通じて研究要件を満たすためにMRC 942をカスタマイズすることができます。942はマグネトロン陰極スパッタリング源と磁場を利用して、ターゲットにインピングするイオンフラックスを正確に制御することができます。このフィールドは、特別なコンピュータ制御の永久磁石を使用して生成されます。MRC 942はまた、信頼性の高い反復可能な結果を保証する自動圧力調整機能を備えた光学ベース圧力測定ユニットを備えています。942には独自の移動ターゲットテクノロジーが含まれており、ユーザーは0〜50 mmの場所でスパッタリングターゲット間の相対的な分離を変更できます。この機能は、柔軟性を高め、基板上の金属堆積によって引き起こされる潜在的な影の影響を排除するのに役立ちます。MRC 942は、簡単な制御とデータ記録のためのLCDタッチスクリーン、過剰なスパッタリングを防ぐための自動保釈ダンプ、最適なプロセス条件を確保するための動的プロセス監視機、研究ニーズに合わせてさまざまなカスタマイズパッケージやアクセサリなどの高度なユーザーフレンドリー機能を提供します。これらのすべての機能により、942は薄膜成膜、バリア層の成膜、およびその他の機能層の成膜など、幅広い用途に使用できます。MRC 942は、プロセスの開発、プロセス制御の改善、層の堆積のモニタリング、またはカスタム堆積ソリューションの作成に使用されるかどうかにかかわらず、スパッタリングの研究開発の境界をこれまで以上に押し上げることができます。
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