中古 MRC 942 #9004067 を販売中
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MRC 942は、さまざまな基板上に薄膜堆積物を作成するために使用される完全に自動化されたスパッタ装置です。このシステムは非常に汎用性が高く、金属、合金、誘電体、化合物酸化物などの幅広い産業グレードのスパッタリング材料を選択できます。マグネトロンスパッタリングガンを採用し、イオンのエネルギッシュなビームを生成し、金属ターゲット材料を爆撃し、基板表面に金属原子を推進します。この金属蒸着は、様々な電気および電子部品の製造における金属化層の蒸着などの様々な用途に使用されます。この機械は、0。5 nmから2 μ mまでの厚さの金属層を堆積することができます。また、このツールの高いレート蒸着技術により、高いスループット速度で大きな基板上の金属および合金層の一貫した均一な蒸着が可能になります。この資産はまた、ユーザーフレンドリーな制御と自動化を提供し、堆積のための基板の任意の数を収容することができます、シングルまたはスタック。ユーザーはまたフィルムの厚さ、純度および構成の完全な制御を与えられます。さらに、基板温度、圧力、RF、 DC電力もデジタル制御することができます。最後に、ユーザーが複雑な多層蒸着パターンと一緒に膜厚をプログラミングできる高度なスパッタとプロセス制御が提供されます。また、反応性スパッタリングガスの多くの種類を利用する能力を持っています。要するに、942スパッタリング装置は、優れた制御性、高いスループット率、高品質の金属および合金薄膜の均一な蒸着など、ユーザーに多くの利点を提供します。システムの柔軟性により、幅広い材料に対応でき、その自動化により、さまざまな用途で信頼性の高い再現性の高い金属蒸着が可能になります。
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