中古 MRC 903M #9166595 を販売中

MRC 903Mは、MuRata Machinery Ltd。によって設計および製造された、汎用性と信頼性の高いスパッタリング装置です。シリコン、銅、ガラス、ポリマー、低金属材料など幅広い基材に精密洗浄、エッチング、成膜、薄膜加工用途に適した高度なスパッタリングツールです。精密に制御された真空チャンバー、特別に設計されたガスマニホールド、およびロボットサンプルステージのモーションコントロールシステムの3つの主要コンポーネントで構成されています。MRC 903 M真空チャンバーは、1×10-6 Torrの究極の圧力で、機械的、熱的、および真空の安定性の高い程度を達成するように設計されています。温度制御された加熱部品は、-25°C〜+150°Cの間で均一な温度を維持できます。また、高純度で低排ガスの非蒸発ゲッターポンプ（NEG）を採用し、凝縮性のないガスを除去し、サンプル汚染を防ぎます。903Mは、高純度Ar、 He、 O2、 N2、 NF3、 CF4、およびその他の特殊ガスを含む幅広いプロセスガスと互換性があることを認定されています。ガスマニホールドユニットは、スパッタリングプロセスで使用されるさまざまなガスの流れ、組成、圧力を効率的に制御します。アルゴンと不活性ガスのための別のチャンバー、圧力を調整するためのバイパスバルブがあります。ガスコントロールバルブを正確に配置し、ガスフローを正確に調整します。これにより、903Mは異なる基板の堆積プロファイルと層厚を正確に制御することができます。MRC 903Mロボットサンプルステージには、2軸サンプルホルダーと機械クランプ機がプリインストールされています。X軸とY軸の動きに高精度のリニアモータを搭載し、正確な位置決めと非常に滑らかな運動パターンを可能にします。さらに、サンプルホルダーは、異なるステップカバレッジ角を180度まで回転させることができ、コーティングの均一性を向上させます。結論として、MRC 903 Mスパッタリングツールは、精密薄膜コーティング用途向けに設計された非常に汎用性が高く、技術的に高度なツールです。精密に制御された真空チャンバー、ダイナミックバランスガスマニホールド、高精度のロボットサンプルステージ動作制御アセットを備えているため、高精度の洗浄、コーティング、エッチング処理に最適です。