中古 MRC 903M #9160487 を販売中

MRC 903Mは薄膜材料で表面を均一にコーティングするために設計されたスパッタ装置です。Veeco Instrumentsによって作成されたこのデバイスは、薄膜光学系の製造、ガラス基板への導電性材料の堆積、発光膜の調製に広く使用されています。このシステムは、マグネトロン銃の構造を改善し、広い領域に均質なスパッタコーティングを生成し、非常に低いプロファイルの不規則性を有する。MRC 903 Mの主な特徴は、フィルムのスパッタ速度、磁場、イオン化密度、および均一性を制御する機能です。これは、統合されたクワッドマグネトロン銃、より大きな面積平面ターゲット、および高度なプロセス制御ソフトウェアによって達成されます。この銃は、異なるスパッタ構成に容易に対応できるように設計されており、生産速度を最適化するためのAI学習アルゴリズムが内蔵されています。903Mには、生産中に不規則性や安全上の問題が発生した場合、自動シャットダウンユニットなどのさまざまな統合安全機能が含まれています。制御装置により、イオンフラックス、ターゲット温度、基板温度、RF周波数を調整し、最適な性能を実現します。このツールの包括的なソフトウェアパッケージは、生産効率を向上させ、均一性を高める正確なユニフォームスパッタリング（UPS）を可能にします。さらに、903 Mはクラスの他のシステムと比較して比較的コンパクトで、メンテナンスとクリーニングを容易にするための取り外し可能なターゲットチャンバーが含まれています。この資産は、小さな実験室から大規模な生産グーチまで、あらゆるスパッタ環境にも適しています。さらに、このモデルはエネルギー効率が良いように設計されており、総生産エネルギーコストを最大40％節約できます。全体として、MRC 903Mは、薄膜材料および光学部品の形成に理想的な汎用性と信頼性の高いスパッタリング装置です。このシステムの包括的な機能と安全システムは、最適な性能を確保し、メンテナンス時間を短縮するため、多くの薄膜製造および研究アプリケーションに適しています。