中古 MRC 903 #9241895 を販売中

MRC 903はAdvanced Energyが開発したスパッタリング装置です。これは、物理蒸着（PVD）プロセスで一般的に使用される高性能システムです。精密なコーティングと薄膜成膜を容易にするように設計されています。903は、シングルチャンバー設計を特徴としています。チャンバーはアルミニウム製で、高精度の固定マグネトロンDCまたはRF電源を使用しています。電源はデジタル制御されており、20W〜40kWの電力を供給できます。金属、誘電体、有機化合物、レアアースなど多種多様な材料を用いた精密コーティングと薄膜成膜が可能です。スパッタリングマシンは、均一な膜厚と均一な蒸着のために、ガス圧力、圧力と温度制御、ターゲット材料とハンドリング、バイアス電圧など、さまざまな調整可能なパラメータを備えています。このツールには、300°Cまでのマルチゾーン基板ヒーターも装備されています。これにより、アセットは異なる温度で動作し、基板へのより深い浸透を可能にします。Dual Source Mechanism （DSM）を使用することで、MRC 903のターゲット材料とハンドリングの精密制御が可能になります。これは、広い基板領域にわたって厚膜のバリエーションを高速に堆積させるように設計されています。これは、複数の独立したソースを展開できるようにすることで実現され、個々のソースを3つの軸に沿って移動できます。903はまた集中されたダイオードの構造の広い基質に独特に均一な沈殿を提供します。独自の3軸マッピングモデルを搭載しており、動作範囲全体での成膜能力を向上させています。これは、細かいライン機能を備えたディープトレンチまたはディースへの精密コーティング作業に非常に役立ちます。また、複数の基板への沈着を確実にするために、高度な基板ターゲット位置決めシステム（STPS）も備えています。この調整可能なアームユニットは、精密な調整を可能にし、4つのコーナーで基板を取り付ける必要のあるアプリケーション向けに設計されています。MRC 903は、効率的で信頼性が高く、ユーザーフレンドリーなスパッタリングマシンで、さまざまなアプリケーションに最適です。精密コーティングと薄膜成膜が可能な強力な工具であり、広い基板領域で優れた膜均一性と再現性を提供します。