中古 MRC 903 WLL #9171688 を販売中

MRC 903 WLLは、薄膜成膜用途に優れた均一性と精度を提供する汎用スパッタ装置です。903 WLLは、金属、酸化物およびその他の化合物をさまざまな基板に堆積させるために設計されています。この装置は、2つの独立したマグネトロンスパッタリング陰極を使用して、さまざまな目的で均一な薄膜を生成します。このシステムには、優れた均一性と精度を提供する2つの大型独立同軸マグネトロンが装備されています。この特許取得済みの設計には、独自のC- sonic™技術を使用してターゲットを正確にターゲットにし、優れた均一性を保証するセルフアライメント機能が含まれています。これら2つのスパッタリング源は、最大限の柔軟性を可能にするために、広範囲のスパッタリングパラメータで独立して制御されます。MRC 903 WLLには、優れた性能と高い均一性を備えた水銀フリー6インチソースも含まれています。水銀のないソースは、より高い電力密度と最新の機能を提供します。このユニットには、完全なプロセス制御とスパッタリングパラメータのカスタマイズを可能にする包括的なコンピュータコントロールマシンも含まれています。この制御ツールは、高度なデータ分析、統計プロセス制御、および高度なオフラインプログラミング機能を提供します。このアセットは、お客様のニーズに合わせて様々なオプションで高度にカスタマイズ可能です。オプションの高エネルギーガスデリバリーモジュールにより、低圧での高出力スパッタリングが可能です。作り付けの高い電源および速い応答時間は優秀な結果の速いサイクリング時間を保障します。903 WLLは、精密な薄膜成膜と幅広いカスタマイズオプションを提供する汎用スパッタリングモデルです。優れた均一性と精度と豊富なプロセスパラメータにより、さまざまな用途で優れた薄膜成膜が可能です。