中古 MRC 903 series #85308 を販売中

MRC 903シリーズスパッタリング装置は、さまざまな材料の薄膜を基板に堆積させるために使用される生産レベルのツールです。これは、大規模生産中に正確かつ再現可能な薄膜蒸着を可能にするように設計されています。このシステムは、DC、 RF、 パルスDC電源を使用して、スパッタ蒸着のための複数のテクノロジーオプションを実現します。MRC 903は、100nm〜500nmの薄膜を大型基板上に堆積させ、大量生産が可能な高度な物理蒸着装置です。このマシンには、さまざまな材料をスパッタすることができる回転ターゲットアセンブリと、DCおよびRFマグネトロンスパッタリングのオプションが含まれています。DC電源は最大500ボルト可変、RF電源は最大500ワット可変です。このツールには、堆積プロセスを正確に制御できる多数のプロセス制御機能があります。これらの機能には、コンピューター制御の可変圧力チャンバ、マルチゾーン温度コントローラ、高度なプロセス監視および制御資産が含まれます。ユーザーフレンドリーなインターフェースは、複雑なレシピを自由に開発、保存、リコールできる高度なプログラミングオプションも提供します。MRC 903スパッタリングモデルにはアクティブビューチャンバーが搭載されており、蒸着プロセスをその場で見ることができ、条件をリアルタイムに最適化して所望の薄膜結果を得ることができます。さらに、このモデルは自動的なソース・ツー・サンプル搬送装置と組み合わせることができ、大型基板における薄膜の高速かつ効率的かつ再現性の高い蒸着を可能にします。全体として、903シリーズスパッタリングシステムは、薄膜蒸着のための信頼性の高い高度な生産ソリューションです。高性能スパッタリング機能、高度な機能、および大小の生産ランの柔軟性を備えたこのユニットは、薄膜蒸着のための効率的で効果的なソリューションを提供します。