中古 MRC 902M #9199362 を販売中

MRC 902Mは、スパッタ成膜を正確に制御し、優れたメンテナンスと安全機能を備えた完全自動スパッタ装置です。これは、高度に調整可能なマグネトロン源3つの並列配置を備えています。その大きなチャンバー、広範なプロセスの柔軟性、清潔さとアクセシビリティにより、金属、セラミック、または複合材料を含むさまざまな材料の研究開発に適しています。902Mに2つの150mm （6「）の直径の陰極および1つの100mm （4」）の直径の陰極が付いているプロセス部屋があります。それぞれは、磁石の高さ、発生角度、回転、磁場強度に応じて個別に調整可能であり、様々な材料や膜厚に対応できます。磁石構成は、成膜速度を制御するために、フィルムカバレッジとパルスの存在角度を最適化するために調整可能です。プロセスチャンバーの設計には、超音波ロードロック、ツイン避難弁、バラストボトル、内部を汚染物質から保護するチャンバードアが含まれています。5ポートの排気システムは、急速なポンプと高圧の均一性を提供します。このユニットには、機械操作用の強力な制御コンソールが装備されており、ユーザーは複雑なプロセスを構成し、ツールが稼働している間にパラメータを調整し、資産の複数の側面をリアルタイムで監視することができます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと強力なオンラインモニタリング、アラーム機能、診断機能を備えています。さらに、プログラム可能なPIDコントローラにより、ユーザー定義の設定による自動操作が可能になります。MRC 902Mは、優れた安全性を備えた汎用性の高いスパッタリングモデルです。これらの機能には、高温アラーム、高圧/低圧エラーを防ぐための圧力制御インターロック、およびプロセス熱警報が含まれます。効率的なろ過装置は、99。97％の効率的なHEPAフィルター、交換可能なカーボンフィルター、およびプレフィルターで構成されています。902Mは材料の沈着を精密に制御することを可能にする多目的で、信頼できるスパッタリングシステムです。その強力な機能と簡単に調整可能な設定により、このユニットは幅広い研究開発アプリケーションに適しています。