中古 MRC 902 #9400745 を販売中

MRC 902スパッタ装置は、薄膜やナノメートルレベルのコーティング層の堆積を必要とする様々な研究用途に使用できます。大面積の基板成膜システムで、最大600x600mmまでの小型・大型基板加工が可能です。902は環境に覆われた部屋を持っています；内部にはエアマフリングの二重層構造が並んでおり、スパッタリング時の最大の音響低減と振動除去を実現しています。さらに、すべてのチャンバーハードウェアは完全なアセンブリとして密封されており、オールラウンドの安全ドアによってさらに保護されています。MRC 902は調節可能な平面磁気およびRFの内部コイルを特色にし、優秀なスパッタリングの均等性および質の層の沈殿を提供します。スパッタリングターゲットは、プレート回転軸の中心に配置され、アルゴンガスに囲まれているため、多くの反応スパッタリングプロセスが可能です。902はまた取り替え可能な区分および調節可能なサポート棒が付いているスパッタリングの選択された陰極の多種多様を特色にし、カスタマイズ可能なカーブおよび沈殿のプロフィールを可能にします。MRC 902には、堆積パラメータを簡単にプログラムできる自動バッチインターフェイスも装備されています。さらに、コンピュータ制御のレシピを繰り返すことで、一貫した再現性のある結果を得ることができます。ABFにはタイマーが内蔵されており、正確な時間と正確なガス流量制御を可能にし、蒸着条件を正確に制御することができます。902は精密な基質の沈殿を保障するために外的に制御されたスキャンの多軸移動および基質の紡錘を、提供します。また、ポストデポジションソース避難ユニットを備えており、異なる基板やフィルムに合わせて変更することができるカスタマイズ可能な避難時間を備えています。結論として、MRC 902は、高品質のフィルムや層を小型および大型の基板に堆積させるために使用できる高度なスパッタリングマシンです。それは信頼でき、有効、沈殿変数および基質の位置の精密な制御を提供します。902は優秀なスパッタの均等性、音響、振動減少を提供し、作動することは非常に容易です。