中古 MRC 902 #9388781 を販売中

MRC 902は、多種多様な材料を扱うように設計された工業用グレードのスパッタリング装置です。このシステムは、スパッタリングと呼ばれる技術である物理蒸着を介して基板表面に薄い層の材料を生成することができます。902の設計はそれを産業および科学的な適用の使用のために適したようにし、ほとんどのスパッタリングの必要性に適するように形成することができます。MRC 902は、さまざまな独立したエンクロージャを備えたシャーシで構成されています。このシャーシは断熱材だけでなく、真空ポンプやユニットのメインコントローラなどのアクティブコンポーネントも備えています。902には、異なるプロセスを処理するように設計された2つの独立した作業室があります。チャンバー内にはスパッタリング源があり、堆積する材料を提供します。これらのソースは自由に配置でき、用途に合わせて角度を調整できます。各ソースはユニバーサル電源コントローラに接続されており、適切な材料蒸着速度を提供するために不必要にプログラムすることができます。MRC 902には、原料をイオン化してスパッタリングを開始するRFジェネレータが取り付けられています。902はさまざまな基質のサイズおよび形を扱うように設計されています。これは、ドライブベルト付きのターゲットチャンバーの使用によって可能になります。これにより、異なるターゲットジオメトリをマシンに供給することができます。ベルトはまた、その設計による空気中の粒子からの汚染のリスクを最小限に抑えるのに役立ちます。MRC 902には、チャンバー内の必要な真空レベルを達成し、維持することができる統合された真空ツールが取り付けられています。このアセットは、2つの荒削りステージと高真空サブモデルを利用しています。902はまた、その場での洗浄とスパッタリングプロセスの分析から利益を得ます。これは、質量分光計、X線光電子分光計、およびその他の分析ツールを通じて達成されます。これらのすべてのコンポーネントは、清潔な作業環境を促進し、汚染を最小限に抑えるためにチャンバー内に取り付けられています。MRC 902スパッタリング装置は、大小のスパッタリング用途において信頼性が高く効率的なソリューションです。先進的な素材や部品を使用し、拡張可能な設計と組み合わせることで、特定のアプリケーションの要件に合わせてカスタマイズすることができ、汎用性と能力の高いツールとなります。