中古 MRC 8667 #9276506 を販売中

MRC 8667は材料の沈着および表面処理のために使用される最先端のスパッタ装置です。それは二重回転可能なフィルター・フラックスおよびモジュラー電源が装備されています。主にスパッタ源のセット、真空ポンピングシステム、避難および圧力測定ユニット、およびマシンコントローラで構成されています。スパッタ源はアークチャンバー、グラファイトホルダー、静電気格子で構成されています。アークチャンバーはスパッタリングターゲットを保持し、常に高真空を確保するために避難環境で密閉されています。グラファイトホルダーと静電気格子は、アークチャンバーの均一性とエネルギー管理を大幅に改善します。真空ポンピングツールは、スパッタリングと沈着が発生するのに十分な圧力が一貫して低いことを保証します。ロータリーベーンポンプ、スクロールポンプ、イオンポンプ、ターボポンプなどの一連のポンプで構成されています。これらのポンプは直列に接続され、必要に応じて適切な避難パラメータを提供します。アークチャンバー内の圧力を正確に測定するために、避難および圧力測定アセットが使用され、それに応じてポンピングモデルを調整します。スパッタ装置は、ターゲット選択、電流、温度、圧力などのすべてのパラメータを管理するコントローラで動作します。パラメータは、目的の材料が基板に堆積するように設定されています。コントローラはまた、常に高品質のプロセスを保証するために、すべてのパラメータを継続的に監視します。システム全体には、緊急シャットダウン、電流制限、油圧ブレーキなどの安全機能が装備されています。8667は、高品質で高精度な材料を多種多様に堆積することができる汎用性の高いスパッタリングユニットです。多彩な機能と機能を持ち、真空薄膜成膜から半導体、電子加工まで幅広い用途に適しています。