中古 MRC 8667 #9128020 を販売中

MRC 8667は産業および研究の適用のために設計されている上限のスパッタリング装置です。このシステムは、マグネトロンスパッタリングプロセスを使用してさまざまな材料をスパッタコートするように設計されています。このプロセスでは、磁場を使用してターゲット材料に薄膜を均一に堆積させ、正確な厚さ制御を維持する。このユニットは、最大8インチの直径範囲を持つ2つの標準基板ホルダーを備えています。より大きな基板にオプションのトリプルヘッドを使用することで、より高い蒸着率のコーティングが可能です。8667には、可変電源と蒸着プロセスを正確に制御するタイマーも含まれています。可変電源は、電圧と電流の変化を可能にし、タイマーはコーティングプロセスの持続時間を設定します。このマシンは、ターゲット材料の周りに軸磁界を作成するユニークな磁気コイル設計を利用しています。これにより、基板表面全体で均一なスパッタリング率が得られ、均一なフィルムが可能になります。ターゲット材料は、蒸着中の熱損傷を防ぐのに役立つ空冷ヘッドによってプロセス中に所定の位置に保持されます。MRC 8667には、コンピュータを必要とせずにスパッタプロセスを直接制御できるオンボードタッチスクリーンモニターがあります。このモニターには、ワーク温度や基板温度などの情報が表示され、ユーザーはプロセスが起こっていることを監視することができます。このツールには、機器を処理しながらユーザーを保護するための包括的な安全資産が付属しています。これには、緊急停止ボタン、緊急排気モデル、およびロックアウト装置が含まれます。精密な厚さモニタリングのために、オートフロー校正とパラメータセンシングも含まれています。最大の使いやすさのために、システムには複数の入出力ポートがあり、制御システムを追加してスパッタプロセスを監視するために使用できます。イーサネットポートが含まれており、堆積パラメータやその他の情報の直接制御およびデータロギングが可能です。8667単位は産業および研究の適用のために設計されている上限のスパッタリング機械です。このツールは、独自のスパッタヘッドと磁気コイル設計により、正確な厚さ制御と均一な成膜を提供します。安全機能に加えて、Ethernet接続、自動フローキャリブレーション、さまざまなモニター機能も備えており、一定のフィードバックと最大限の使いやすさを確保しています。