中古 MRC 8667 #293655700 を販売中

MRC 8667は、精密なフィルムコーティングを製造するためのコンパクトなRFマグネトロンスパッタリング装置です。直流（DC）電源環境で動作するように設計されており、アプリケーションの品質と均一性を向上させる幅広い機能を提供します。8667は、汎用薄膜コーティングから特殊なナノスケール成膜、ハードコーティングや保護層などの先進的なコーティング用途まで、さまざまな用途に適しています。ダイヤモンドのような炭素（DLC）や低k誘電率フィルムのような困難な基板を処理するように設計されています。MRC 8667は、シールされたベルジャーを備えたプロセスチャンバーと、最大5つの異なるカソードをサポートする機能、および基板およびその他の必要な機器の品揃えで構成されています。最大動作圧力は10 Torr、ベース温度は-10°Cです。温度はPIDコントローラによって制御され、プロセスガスはマスフローコントローラ（MFC）によって導入されます。チャンバーのその他の機能には、水晶観察窓、フラッシングポート、および処理中に基板を保持する静電チャックがあります。このシステムには、最大3kWのスパッタが可能な統合無線周波数（RF）電源も含まれており、より大きな面積の基板にわたって高品質の均一なコーティングを提供します。電源は、マグネトロン回転やパルス動作などの追加オプションを使用して、さまざまな蒸着プロセスの動作もサポートします。このようなオプションは、選択的に調整可能なパワーレベルを提供し、フィルムの品質と構造をより細かく制御します。また、プロセス条件を監視し、各コーティングジョブに使用されるパラメータのトレーサビリティを提供するためのデジタルモニタリングユニットを備えています。8667はまた、現場診断を備えたMRC Resolve™測定機などの高度な診断機能を備えており、プロセスチャンバーが動作条件下にある間に堆積したフィルムの高精度な測定を提供します。これは、沈着条件とフィルムの特性を研究しながら、リアルタイムで基板を測定するのに役立ちます。さらに、このツールは操作プロファイルを制御することもでき、異なる処理ステップ間の遅延時間を提供します。MRC 8667スパッタリングアセットは、薄膜コーティングの製造に多くの利点を提供します。これは、ワークフロー内の迅速かつ効率的なインストールのためのコンパクトでモジュラー設計を提供します。このモデルは操作が簡単で、プロセスを制御するためのいくつかのオプションがあり、その結果、高い均一性と品質のフィルムが得られます。また、トレーサビリティ、オンボード診断、低汚染が評価され、さまざまなアプリケーションに適しています。